[实用新型]一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构有效
| 申请号： | 201920603328.0 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN209854242U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 干黎明;马国水;邵鑫 | 申请（专利权）人： | 光驰科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 31214 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。本实用新型的优点是：结构简单，集成性高；解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题；具有量产可行性；尤其适用于物理气相沉积领域，如蒸发镀或溅射镀。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动齿轮 传动轴 镀膜基板 圆筒形 膜厚 正板 本实用新型 圆筒形基 物理气相沉积 真空镀膜技术 布置位置 传动配合 镀膜区域 放置位置 内壁镀膜 不一致 集成性 内壁膜 溅射 量产 面型 内孔 伸入 外接 转动 蒸发 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。/n
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