[实用新型]一种硅片涂铂台

摘要

本实用新型公开了一种硅片涂铂台，包括台架、涂铂装置、磁力搅拌装置和烘干板，台架的中部设有工作台。涂铂装置包括电机和吸盘，电机固定装设于工作台的下表面且穿过工作台与设置于工作台上表面的吸盘驱动连接，且吸盘的中部开设有通气孔通过外接真空机连通，电机通过设置于工作台下方的踏板电连接控制。磁力搅拌装置包括磁力底座、储液杯和转动磁子，工作台上开设有容置槽，磁力座装设于容置槽内。储液杯放置于磁力座上，转动磁子放置于储液杯内，烘干板设置于工作台上。本实用新型通过涂铂装置的电机驱动吸盘匀速转动，将硅片装设于涂铂装置上匀速旋转，人工放置涂刷于硅片表面自动涂抹，能实现硅片表面涂铂均匀性，且提高了涂铂效率。

主权项

1.一种硅片涂铂台，其特征在于：包括台架(1)、涂铂装置(2)、磁力搅拌装置(3)和烘干板(4)，所述台架(1)的中部设有工作台(5)，所述涂铂装置(2)包括电机(2a)和吸盘(2b)，所述电机(2a)固定装设于所述工作台(5)的下表面且穿过工作台(5)与设置于工作台(5)上表面的吸盘(2b)驱动连接，且所述吸盘(2b)的中部开设有通气孔(2c)通过外接真空机连通实现硅片的吸附，所述电机(2a)通过设置于工作台(5)下方的踏板(6)电连接控制其启停，所述磁力搅拌装置(3)包括磁力座(3a)、储液杯(3b)和转动磁子(3c)，所述工作台(5)上于所述涂铂装置(2)的一侧开设有容置槽(5a)，所述磁力座(3a)装设于容置槽(5a)内，所述储液杯(3b)放置于所述磁力座(3a)上，所述转动磁子(3c)放置于所述储液杯(3b)内，所述烘干板(4)设置于所述工作台(5)上。/n