[实用新型]一种针对气体流量计的测量校正装置有效

专利信息
申请号: 201920609399.1 申请日: 2019-04-29
公开(公告)号: CN209783706U 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 方亮 申请(专利权)人: 无锡宇邦半导体科技有限公司
主分类号: G01F25/00 分类号: G01F25/00
代理公司: 11411 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 黄冠华
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种针对气体流量计的测量校正装置,包括储气筒,储气筒分别连接有热交换机和第一压力计,储气筒通过阻隔阀连接有真空泵,储气筒设置有一个第一进气管,第一进气管的出气端与储气筒连接,第一进气管上从进气端到出气端依次设置有第一手阀、第一调压阀、第二压力计、第一气动阀、待测气体流量计、第二气动阀。本实用新型提供的针对气体流量计的测量校正装置,能够检测气体流量计的实际流量值,得出其实际流量值与设定流量值的关系,使气体流量计的实际流量达到工艺的所需流量。
搜索关键词: 储气筒 气体流量计 实际流量 进气管 测量校正装置 本实用新型 出气端 气动阀 压力计 流量计 待测气体 热交换机 依次设置 调压阀 阀连接 进气端 真空泵 阻隔 检测
【主权项】:
1.一种针对气体流量计的测量校正装置,其特征在于:包括储气筒,所述储气筒分别连接有热交换机和第一压力计,所述储气筒通过阻隔阀连接有真空泵,所述储气筒设置有一个第一进气管,所述第一进气管的出气端与所述储气筒连接,所述第一进气管上从进气端到出气端依次设置有第一手阀、第一调压阀、第二压力计、第一气动阀、待测气体流量计、第二气动阀。/n
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