[实用新型]一种层压机真空阀门系统有效
| 申请号： | 201920613112.2 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN210257575U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王晓东;武绍帅 | 申请（专利权）人： | 张家港协鑫集成科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B37/10 | 分类号： | B32B37/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种层压机真空阀门系统，包括真空泵以及与真空泵经真空管连接的上室和下室；在上室的真空管上增设与盖放小气阀、上盖放大气阀实现开关联动的第一电磁阀，在下室的真空管上增设与工作台放小气阀、工作台放大气阀实现开关联动的第二电磁阀。本实用新型能够有效预防因上盖放小气阀、上盖放大气阀和工作台放小气阀、工作台放大气阀发生故障无法关闭而引起真空泵抽真空异常，避免组件报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 层压 真空 阀门 系统 | ||
【主权项】：
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