[实用新型]一种具有断轴监控功能的去胶装置

摘要

本实用新型提供了一种具有断轴监控功能的去胶装置，包括底板，底板上端面设置有支撑板，第一支撑板顶部连接有去胶腔体，托环轴杆由去胶腔体底部穿出；第一支撑板下端内侧面设置有步进马达，其电机轴通过联轴器连接有第一丝杆，上端连接有第一滑块，托环轴杆下端外侧与第一滑块连接，内侧设置有第一感应器挡片；第二支撑板内侧面设置有第二丝杆，第二丝杆下端与电机轴同步传动连接，上端连接有第二滑块，第二滑块内侧面设置有第二感应器挡片；去胶腔体下端面设置有固定杆，固定杆上设置有下降位置感应器和上升位置感应器。本实用新型提供的具有断轴监控功能的去胶装置，能够及时发现联轴器断裂情况并进行停机处理，保护晶圆安全，降低生产损失。

主权项

1.一种具有断轴监控功能的去胶装置，其特征在于：包括底板，所述底板的上端面相对平行设置有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板的顶部连接有去胶腔体，所述去胶腔体内设置有晶圆托环，所述晶圆托环的下端面连接有托环轴杆，所述托环轴杆由所述去胶腔体底部穿出；/n所述第一支撑板的下端内侧面设置有步进马达，所述步进马达的电机轴上端通过联轴器连接有第一丝杆，所述第一丝杆上端螺旋连接有第一滑块，所述第一滑块与所述第一支撑板的内侧面滑动连接，所述托环轴杆的下端外侧与所述第一滑块连接，所述托环轴杆的下端内侧设置有第一感应器挡片；/n所述第二支撑板的下端内侧面设置有轴承座，所述轴承座旋转连接有第二丝杆，所述第二丝杆与所述第一丝杆平行相对，所述第二丝杆的下端与所述电机轴同步传动连接，所述第二丝杆的上端螺旋连接有第二滑块，所述第二滑块与所述第二支撑板的内侧面滑动连接，所述第二滑块的内侧面设置有第二感应器挡片，所述第二感应器挡片与第一感应器挡片平行相对且水平高度一致；/n所述去胶腔体的下端面设置有固定杆，所述固定杆位于所述托环轴杆与第二滑块之间且与二者平行，所述固定杆的下端两侧分别设置有一个下降位置感应器，所述固定杆的上端两侧分别设置有一个上升位置感应器，所述下降位置感应器和上升位置感应器均连接有控制器。/n