[实用新型]多档位输出压差传感器有效
申请号: | 201920635076.X | 申请日: | 2019-05-06 |
公开(公告)号: | CN209656199U | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 姚耀钦;顾凯 | 申请(专利权)人: | 深圳市湃科集成技术有限公司 |
主分类号: | G01L13/02 | 分类号: | G01L13/02;G01B7/16 |
代理公司: | 44285 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王仲凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了多档位输出压差传感器,用于实现多档位压差检测。实施例可包括:微机电系统MEMS膜片、金属极片、第一检测芯片及主控芯片;其中,MEMS膜片与金属极片分别作为电容的一极,组成目标电容;金属极片上设有开孔,当检测点由于吸气动作或出气动作引起气流流动时,金属极片上的开孔用于导通流动的气流至MEMS膜片的一面,MEMS膜片的另一面与空气连通;当目标电容接入导通电路,MEMS膜片在两面气压差的作用下使得MEMS膜片发生形变时,第一检测芯片用于检测MEMS膜片相关的电信号的当前值,并将当前值发送给主控芯片;主控芯片根据预设的映射关系输出当前值对应的输出信号,主控芯片中预设有至少两种取值范围内的电信号与输出值的映射关系。 | ||
搜索关键词: | 膜片 金属极片 主控芯片 检测芯片 目标电容 映射关系 多档位 开孔 本实用新型 微机电系统 导通电路 空气连通 气流流动 输出信号 输出压差 压差检测 出气 输出 吸气 检测点 气压差 电容 形变 传感器 导通 预设 检测 流动 | ||
【主权项】:
1.一种多档位输出压差传感器,其特征在于,包括:/n微机电系统MEMS膜片、金属极片、第一检测芯片及主控芯片;/n其中,所述MEMS膜片与所述金属极片分别作为电容的一极,组成目标电容;/n所述金属极片上设有开孔,当检测点由于吸气动作或出气动作引起气流流动时,所述金属极片上的开孔用于导通流动的气流至所述MEMS膜片的一面,所述MEMS膜片的另一面与空气连通;/n当所述目标电容接入导通电路时,所述第一检测芯片用于检测所述MEMS膜片相关的电信号的当前值,并将所述当前值发送给主控芯片;/n所述主控芯片根据预设的映射关系输出所述当前值对应的输出信号,所述主控芯片中预设有至少两种取值范围内的电信号与输出值的映射关系。/n
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