[实用新型]一种石英舟防砸保护系统有效
| 申请号： | 201920638232.8 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN209675260U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 匡露;彭松;张建国 | 申请（专利权）人： | 镇江大全太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 32207 南京知识律师事务所 | 代理人： | 李湘群<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟防砸保护系统，包括石英舟和传送装置，所述石英舟的前侧设有金属部件，所述石英舟由所述传送装置输送到位；其特征在于：还包括光纤感应器和金属位移传感器，所述光纤感应器设置在所述石英舟到位时的后侧，所述金属位移传感器设置在所述石英舟到位时的前侧；当所述石英舟到位时，所述光纤感应器可检测到所述石英舟的尾部，发出石英舟已到位信号；所述金属位移传感器可检测到所述石英舟前侧的金属部件，发出石英舟已到位信号。本实用新型通过光纤感应器和金属位移传感器的配合作用，提高了扩散机械抓手及石英舟使用的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 石英舟 光纤感应器 位移传感器 金属 本实用新型 传送装置 到位信号 金属部件 可检测 机械抓手 防砸 扩散 配合 | ||
【主权项】：
1.一种石英舟防砸保护系统，包括石英舟和传送装置，所述石英舟的前侧设有金属部件，所述石英舟由所述传送装置输送到位；其特征在于：还包括光纤感应器和金属位移传感器，所述光纤感应器设置在所述石英舟到位时的后侧，所述金属位移传感器设置在所述石英舟到位时的前侧；/n当所述石英舟到位时，所述光纤感应器可检测到所述石英舟的尾部，发出石英舟已到位信号；所述金属位移传感器可检测到所述石英舟前侧的金属部件，发出石英舟已到位信号。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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