[实用新型]一种带材连续式真空等离子体镀膜系统有效
| 申请号： | 201920640946.2 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN209923423U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 何培忠 | 申请（专利权）人： | 广州市中昊装饰材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44259 广州凯东知识产权代理有限公司 | 代理人： | 姚迎新 |
| 地址： | 510080 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，包括真空镀膜室、抽真空系统、收放卷装置和驱动装置；收放卷装置包括放卷室和收卷室；抽真空系统通过真空连接通道分别与放卷室和收卷室连通；真空镀膜室上分布有若干阴极靶和进气管；放卷室和收卷室内部分别设置有放卷涨缩头和收卷涨缩头，放卷室和收卷室内部侧壁上分别设有加热装置，带材在真空镀膜室内通过阴极靶向带材上溅射金属离子，气体通过进气管流入真空镀膜室后与金属离子发生作用沉积在带材表面；本实用新型提供的真空等离子体镀膜系统使带材表面膜层沉积效率高、沉积厚度均匀、沉积涂层效果好。可以实现带材真空等离子体镀膜生产的连续化，大面积、高效率、大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 放卷室 带材 真空镀膜室 收卷 真空等离子体镀膜 本实用新型 抽真空系统 收放卷装置 带材表面 金属离子 进气管 室内部 收卷室 阴极靶 缩头 沉积 等离子体镀膜 连续式真空 沉积涂层 厚度均匀 加热装置 膜层沉积 气体通过 驱动装置 真空镀膜 真空连接 高效率 连续化 侧壁 放卷 溅射 连通 室内 生产 | ||
【主权项】：
1.一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，其特征在于：包括真空镀膜室、抽真空系统、收放卷装置和驱动装置；收放卷装置包括放卷室和收卷室；放卷室和收卷室分别连通设置于所述真空镀膜室的两端；抽真空系统通过真空连接通道分别与放卷室和收卷室连通，通过抽真空系统对真空镀膜室抽真空；真空镀膜室的外侧至少一侧均匀分布有若干阴极靶；阴极靶间隔之间设置有若干进气管；放卷室和收卷室内部分别设置有放卷涨缩头和收卷涨缩头，带材缠绕在放卷涨缩头上，带材的端部穿入所述真空镀膜室连接到收卷涨缩头；所述放卷涨缩头和收卷涨缩头分别通过磁流体密封装置与所述驱动装置连接；放卷室和收卷室内部侧壁上分别设有加热装置，通过加热装置对带材加热后，带材在所述真空镀膜室内通过所述阴极靶向带材上溅射金属离子，气体通过进气管流入真空镀膜室后与金属离子发生作用沉积在带材表面，实现带材真空等离子镀膜。/n
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