[实用新型]一种定向凝固生长晶体硅的铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201920654622.4 申请日: 2019-05-08
公开(公告)号: CN209836368U 公开(公告)日: 2019-12-24
发明(设计)人: 陈仙辉;邹贵付;何亮;毛伟;雷琦 申请(专利权)人: 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06
代理公司: 44202 广州三环专利商标代理有限公司 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 338004 *** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型实施例提供了一种定向凝固生长晶体硅的铸锭炉,包括:炉体,所述炉体包括相互配合的上炉体和下炉体,所述下炉体底部设置一轴孔;支撑台,所述支撑台包括旋转轴和固定在所述旋转轴一端的热交换台,所述热交换台上设有坩埚;所述旋转轴的另一端穿过所述轴孔,且与设置在所述下炉体外部的旋转驱动装置连接,旋转轴内还设有冷却液循环管道,所述冷却液循环管道用于通入冷却液并供所述冷却液循环流动,以实现所述旋转轴的循环冷却;护板;隔热笼,以及设置在所述隔热笼内的加热器。该铸锭炉实现对坩埚的均匀加热,可以大大改善硅锭各个侧面上存在的大量凹凸界面,可以显著减少制备得到的硅锭尾部红区,提升硅锭的质量和出材率。
搜索关键词: 旋转轴 下炉体 硅锭 冷却液循环管道 隔热笼 支撑台 铸锭炉 炉体 坩埚 热交换 旋转驱动装置 加热器 本实用新型 冷却液循环 凹凸界面 定向凝固 均匀加热 热交换台 循环冷却 出材率 晶体硅 冷却液 上炉体 护板 一轴 制备 轴孔 穿过 侧面 生长 外部 流动 配合
【主权项】:
1.一种定向凝固生长晶体硅的铸锭炉,其特征在于,包括:/n炉体,所述炉体包括相互配合的上炉体和下炉体,所述下炉体底部设置一轴孔;/n支撑台,所述支撑台包括旋转轴和固定在所述旋转轴一端的热交换台,所述热交换台上设有坩埚;所述旋转轴的另一端穿过所述轴孔,且与设置在所述下炉体外部的旋转驱动装置连接,所述旋转驱动装置用于驱动所述旋转轴旋转以带动所述坩埚旋转;所述旋转轴内还设有冷却液循环管道,所述冷却液循环管道用于通入冷却液并供所述冷却液循环流动,以实现所述旋转轴的循环冷却;/n护板,所述护板设置在所述坩埚的外侧壁上;/n隔热笼,以及设置在所述隔热笼内的加热器。/n
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