[实用新型]蓝膜供给装置有效

专利信息
申请号: 201920661320.X 申请日: 2019-05-09
公开(公告)号: CN209880565U 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 项刚;谭军;金琦 申请(专利权)人: 四川九州光电子技术有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 44256 深圳市凯达知识产权事务所 代理人: 刘大弯
地址: 621000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种蓝膜供给装置,包括蓝膜圈XY轴机构垫块和顶针机构垫块,所述蓝膜圈XY轴机构垫块上端固定连接有芯片Y向移动轴,所述芯片Y向移动轴一端固定连接有Y轴电机,所述芯片Y向移动轴上端固定连接有X轴支撑板,所述X轴支撑板上端固定连接有芯片X向移动轴和X轴电机,且X轴电机位于芯片X向移动轴一端,所述芯片X向移动轴和X轴电机之间设有X轴连轴器,所述芯片X向移动轴上端固定连接有八寸芯片圈,所述蓝膜圈XY轴机构垫块一侧设有顶针机构垫块,本实用新型能够在对芯片与蓝膜分离时能够随着芯片Y向移动轴和芯片X向移动轴的工作进行移动顶针,能够更加快速的对芯片与蓝膜进行分离。
搜索关键词: 芯片 蓝膜 垫块 上端固定 本实用新型 顶针机构 支撑板 供给装置 移动顶针 连轴器 芯片圈
【主权项】:
1.一种蓝膜供给装置,包括蓝膜圈XY轴机构垫块(1)和顶针机构垫块(2),其特征在于:所述蓝膜圈XY轴机构垫块(1)上端固定连接有芯片Y向移动轴(3),所述芯片Y向移动轴(3)一端固定连接有Y轴电机(4),所述芯片Y向移动轴(3)上端固定连接有X轴支撑板(5),所述X轴支撑板(5)上端固定连接有芯片X向移动轴(20)和X轴电机(21),且X轴电机(21)位于芯片X向移动轴(20)一端,所述芯片X向移动轴(20)和X轴电机(21)之间设有X轴连轴器(22),所述芯片X向移动轴(20)上端固定连接有八寸芯片圈(23),所述蓝膜圈XY轴机构垫块(1)一侧设有顶针机构垫块(2),所述顶针机构垫块(2)上端固定连接有顶针XY轴调节机构(6),所述顶针XY轴调节机构(6)上端固定连接有顶针电机支撑骨架(7),所述顶针电机支撑骨架(7)一侧固定连接有电机固定块(12),所述电机固定块(12)一侧固定连接有顶针上下量电机(13),所述顶针电机支撑骨架(7)上端固定连接有顶杆限位栓(14),所述顶杆限位栓(14)上端固定连接有针筒固定轴套(15),所述针筒固定轴套(15)上端固定连接有顶针针筒(16),所述顶针针筒(16)上端固定连接有顶针顶杆(17),所述顶针顶杆(17)上端固定连接有芯片顶针(18),所述芯片顶针(18)上端套接有芯片顶针帽(19),所述八寸芯片圈(23)上方设置有芯片吸嘴垂直调节机构(25),所述芯片吸嘴垂直调节机构(25)一侧下端固定连接有芯片吸嘴(26),所述芯片吸嘴垂直调节机构(25)上方设置有相机X.Y.Z向调节机构(27),所述相机X.Y.Z向调节机构(27)一侧固定连接有工业相机(28),所述工业相机(28)下端固定连接有高清晰定倍镜头(29)。/n
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