[实用新型]低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管有效
| 申请号： | 201920668512.3 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN209974890U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 王杨阳;马磊;章新良;刘海;孙友巍;孙嵩泉 | 申请（专利权）人： | 普乐新能源(蚌埠)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54 |
| 代理公司： | 34102 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 王琪;和聚龙 |
| 地址： | 233030 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管；包括骨架和石英玻璃纤维，骨架为两端开口的圆管状，骨架的外壁契合低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁轮廓，骨架设有容纳内孔载片舟的内孔，石英玻璃纤维完全包裹在骨架外壁和内孔侧壁上形成石英玻璃纤维层，石英玻璃纤维层外侧镀有与低压化学气相沉积真空管式炉中反应气体产生的沉积物相同的沉积层。将本柔性衬管套装在低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁上，沉积物沉积到本低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管上，可以阻挡沉积物沉积到低压化学气相沉积真空管式炉的石英管上，而且本柔性衬管没有密封要求，便于维护，又易拆装，同时成本节约50％。 | ||
| 搜索关键词： | 低压化学气相沉积 真空管式炉 石英玻璃纤维 沉积物 衬管 石英管内壁 内孔 沉积 本实用新型 成本节约 反应气体 骨架外壁 两端开口 密封要求 内孔侧壁 沉积层 石英管 易拆装 圆管状 载片舟 外壁 契合 容纳 阻挡 维护 | ||
【主权项】：
1.一种低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管，其特征为：/n包括骨架和石英玻璃纤维，骨架为两端开口的圆管状，骨架的外壁契合低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁轮廓，骨架设有容纳内孔载片舟的内孔，石英玻璃纤维完全包裹在骨架外壁和内孔侧壁上形成石英玻璃纤维层，石英玻璃纤维层外侧镀有与低压化学气相沉积真空管式炉中反应气体产生的沉积物相同的沉积层。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
