[实用新型]一种化学水浴喷淋布液装置有效
申请号: | 201920676625.8 | 申请日: | 2019-05-13 |
公开(公告)号: | CN210098075U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 张焓;陈培专;李劼;魏昌华;高翔 | 申请(专利权)人: | 绵阳金能移动能源有限公司 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C11/10 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 贾晓燕 |
地址: | 621000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种化学水浴喷淋布液装置,用于储存药液的储存罐,其内部伸入有导管,导管上安装有主磁浮泵和加热器;缓冲罐,缓冲罐与储存罐之间通过导管连通;多根导液管,其一端与缓冲罐连通,其中,每根导液管上安装有副磁浮泵和流量计,多个导液管的另一端均分别连接有布液刀;多个布液刀相互连接组成布液装置。本实用新型提高药液布液均匀性;布液刀上带有角度盘,可根据实际工艺需求调整布液刀角度,达到药液布液均匀的目的;加热器对药液进行预热,减少药液在衬底上的加热时间,降低药液与衬底之间的温度差,加快络合反应和沉积反应;可有效控制液流量的精准度,同时对药液进行加压,使布液刀上每个喷淋孔有持续的药液喷出。 | ||
搜索关键词: | 一种 化学 水浴 喷淋 装置 | ||
【主权项】:
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