[实用新型]CIGS制备用强化隔离膜及制备装置有效
| 申请号： | 201920686231.0 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN210127266U | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种CIGS制备用强化隔离膜制备装置，以柔性有机材料为基材，经该制备装置一次性制成的成膜，具有较好的服帖性能；它包括在一个真空镀膜腔内的多个磁控溅射装置，各磁控溅射装置包括以氩气作为工作气体、以氧气为反应气体的沉积阴极室、位于沉积阴极室内的阴极靶材；磁控溅射装置分为用于对柔性有机基材下表面磁控溅射镀膜的下镀膜磁控溅射装置和用于对柔性有机基材上表面磁控溅射镀膜的上镀膜磁控溅射装置；在真空镀膜腔内还设置有用于对连续移动的柔性有机基材进行冷却的冷鼓；本实用新型还提供一种CIGS制备用强化隔离膜，具有较好的服帖性能，有利于增宽透过光谱的范围，加宽光谱透射窗口宽度，有助于增加全光线透过率。 | ||
| 搜索关键词： | cigs 制备 强化 隔离 装置 | ||
【主权项】：
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