[实用新型]双加热装置有效
| 申请号： | 201920687186.0 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN209624976U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 | 申请（专利权）人： | 苏州美图半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288 | 代理人： | 苗建 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种烤胶用加热装置，尤其是一种双加热装置，属于MEMS的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述双加热装置，包括加热支撑壳体、设置于所述加热支撑壳体上的下加热盘以及与所述加热支撑壳体铰接的防护罩，在所述防护罩内设置能吸附硅片的上加热盘以及能对上加热盘上硅片加热的上加热器；在加热支撑壳体内设置下加热器，防护罩压盖在加热支撑壳体上时，上加热盘能与下加热盘正对应，通过上加热器、下加热器能对上加热盘与下加热盘之间的硅片的两面同时进行加热。本实用新型结构紧凑，采用双层加热的形式，能有效提高烤胶的均匀性，便于实现后期刻蚀中获得更好地线宽，使用方便，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 上加热盘 支撑壳体 防护罩 本实用新型 双加热装置 下加热盘 硅片 上加热器 下加热器 加热装置 双层加热 均匀性 支撑壳 地线 铰接 刻蚀 吸附 压盖 体内 | ||
【主权项】：
1.一种双加热装置，其特征是：包括加热支撑壳体、设置于所述加热支撑壳体上的下加热盘（2）以及与所述加热支撑壳体铰接的防护罩（7），在所述防护罩（7）内设置能吸附硅片（13）的上加热盘（9）以及能对上加热盘（9）上硅片（13）加热的上加热器（8）；在加热支撑壳体内设置下加热器（18），防护罩（7）压盖在加热支撑壳体上时，上加热盘（9）能与下加热盘（2）正对应，通过上加热器（8）、下加热器（18）能对上加热盘（9）与下加热盘（2）之间的硅片（13）的两面同时进行加热。
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