[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的等离子火炬

摘要

本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的等离子火炬，涉及工业废气处理技术领域，包括给装置本体进行水冷的冷却系统一和卡槽板，所述卡槽板上安装阳极衬套，所述阳极衬套下端套接下拉板，所述下拉板螺钉连接于卡槽板上，所述阳极衬套内套接具有腔室一的阳极铜,本实用新型结构简单，为现有技术中解决半导体废气处理提供了新途径，处理废气安全可靠，范围广，本实用新型具有良好的冷却降温效果，阴极与阳极均有水冷却，能够将阴极与阳极产生的高温迅速的被冷却水带走，从而使得处理废气更安全可靠，环形磁柱可以有效的控制电弧，保护阳极铜不受电弧侵蚀，使用寿命长。