[实用新型]一种MEMS结构有效
| 申请号： | 201920713959.8 | 申请日： | 2019-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN209748811U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有邻近设置的空腔和第一凹槽，所述第一凹槽在所述空腔的外围；压电复合振动层，形成在所述空腔的正上方并且位于所述第一凹槽中间，其中，位于所述第一凹槽与所述空腔之间的部分的所述衬底支撑所述压电复合振动层，其中，所述压电复合振动层的外围区域具有第一波纹部分；质量块，形成在所述压电复合振动层的中间区域。该结构提高了压电复合振动层在声压作用下的位移和形变，降低了残余应力，进而提高了MEMS结构的灵敏度。而且，质量块有助于降低压电复合振动层的谐振频率，增加MEMS结构的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电复合 振动层 空腔 灵敏度 质量块 残余应力 衬底支撑 邻近设置 外围区域 谐振频率 中间区域 波纹 形变 衬底 声压 外围 申请 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：/n衬底，具有空腔；/n压电复合振动层，形成在所述空腔的正上方，其中，所述压电复合振动层的外围区域具有第一波纹部分；/n质量块，形成在所述压电复合振动层的中间区域。/n
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