[实用新型]一种向管式PECVD的TMA介质输送系统

摘要

本实用新型公开了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，包括供给系统和蒸发系统；供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接；蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道，第二TMA液体管道设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，TMA气体管道也设置有两个端口，TMA气体管道一端口连接着蒸发瓶出口，TMA气体管道另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计，第二气体管道上还连接有惰性气体质量流量计；本实用新型的有益效果是：该系统改善生产工艺，达到提高转换效率的目的。