[实用新型]玻璃基板的制造装置有效
| 申请号： | 201920719269.3 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN209970305U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 奥村弘和;森伸广 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/16 | 分类号： | B24B7/16;B24B41/06 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供一种玻璃基板的制造装置，能够抑制液体被吸入真空泵。玻璃基板(G)的制造装置(1)具备：负压维持用罐(3)，其将形成于平台(2)的吸引孔(15)维持为负压；以及真空泵(12)，其使负压维持用罐(3)内部为真空，通过吸引孔(15)的负压，将玻璃基板(G)吸附并固定于平台(2)。负压维持用罐(3)具有：平台连接口(26)，其与平台(2)连通；泵连接口(27)，其配置于平台连接口(26)的上方，并与真空泵(12)连通；以及分隔板(28)，其配置于平台连接口(26)与泵连接口(27)之间，并对负压维持用罐(3)的内部进行分隔。 | ||
| 搜索关键词： | 负压 玻璃基板 连接口 真空泵 泵连接口 制造装置 吸引孔 连通 分隔板 吸附 吸入 分隔 配置 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的制造装置，其具备：/n平台，其具备吸引孔；/n负压维持用罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及/n真空泵，其对所述负压维持用罐的内部进行减压，/n通过所述吸引孔的负压，将玻璃基板吸附并固定于所述平台，/n所述玻璃基板的制造装置的特征在于，/n所述负压维持用罐具有：/n平台连接口，其与所述平台连通；/n泵连接口，其配置于所述平台连接口的上方，并与所述真空泵连通；以及/n分隔板，其配置于所述平台连接口与所述泵连接口之间，并对所述负压维持用罐的内部进行分隔。/n
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