[实用新型]一种固晶机摆臂的减振结构有效
| 申请号： | 201920724607.2 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN209641629U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 高健;赖文秀;钟永彬;张揽宇;张金迪 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春水;唐京桥<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 510060广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种固晶机摆臂的减振结构，包括摆臂主体、摆臂支撑板和摆臂螺栓板；摆臂主体与摆臂支撑板通过螺栓连接；摆臂螺栓板与摆臂支撑板连接；摆臂支撑板由碳纤维增强基复合材料制成，摆臂主体和摆臂螺栓板由镁合金材料制成。本申请所公开的固晶机摆臂的减振结构通过根据摆臂的不同部位、不同厚度的刚度敏感区域，定义相对应的材料，降低了摆臂在高频高加速的往复摆动下的振动和缩短了振动稳定时间，解决了摆臂运动到目标位置时振动幅度过大、定位精度低、稳定时间长等问题，提高摆臂的工作效率与定位精度，可应用于多种不同结构的摆臂上，从而实现对摆臂进行减振的目的，达到了提高固晶机取晶、固晶的效率和精度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 摆臂 摆臂支撑 摆臂主体 固晶机 螺栓板 减振结构 定位精度低 镁合金材料 碳纤维增强 工作效率 螺栓连接 敏感区域 目标位置 往复摆动 振动幅度 复合材料 板连接 固晶 减振 申请 应用 | ||
【主权项】：
1.一种固晶机摆臂的减振结构，其特征在于，包括摆臂主体、摆臂支撑板和摆臂螺栓板；/n所述摆臂主体与所述摆臂支撑板通过螺栓连接；/n所述摆臂螺栓板与所述摆臂支撑板连接；/n所述摆臂支撑板由碳纤维增强基复合材料制成，所述摆臂主体和所述摆臂螺栓板由镁合金材料制成。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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