[实用新型]可承载分片的石墨舟

摘要

本实用新型公开了一种可承载分片的石墨舟，包括：通过两对平置陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片设有：两排用于安装卡点的安装孔；该两排安装孔的竖向间距小于硅片的边长，且该两排安装孔的竖向间距不小于硅片边长的一半；同一排且相邻的两个安装孔，它们的间距为硅片边长的1/60；同一排中安装孔的数量不少于30个；上述两对陶瓷棒位于该两排安装孔的外围。本实用新型的石墨舟，其既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。本实用新型石墨舟，其既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。

主权项

1.可承载分片的石墨舟，所述分片由硅片切割而成，硅片为方片或准方片，且分片为：沿硅片宽度方向将硅片N等分切割而成的分片，N≥2，且N≤6；其特征在于：/n所述石墨舟包括：通过两对平置陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；各陶瓷棒相互平行；各石墨舟片相互平行，且各石墨舟片沿陶瓷棒的延伸方向依次排列；单个石墨舟片被上述两对陶瓷棒贯穿，其中一对陶瓷棒分设于该石墨舟片的顶端横向两侧，另一对陶瓷棒分设于该石墨舟片的底端横向两侧；/n所述石墨舟片设有：两排用于安装卡点的安装孔；同一排中的各个安装孔沿石墨舟片的横向等间隔依次设置，且各安装孔都为通孔；其中一排安装孔位于石墨舟片的底部；另一排安装孔位于石墨舟片的上部；该两排安装孔错位设置；该两排安装孔的竖向间距小于硅片的边长，且该两排安装孔的竖向间距不小于硅片边长的一半；同一排且相邻的两个安装孔，它们的间距为硅片边长的1/60；同一排中安装孔的数量不少于30个；上述两对陶瓷棒位于该两排安装孔的外围。/n