[实用新型]一种III-V化合物半导体圆片转移工具有效

专利信息
申请号: 201920727778.0 申请日: 2019-05-21
公开(公告)号: CN209747487U 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 何伟炜;杨明;印文健 申请(专利权)人: 众瑞速联(武汉)科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 11340 北京天奇智新知识产权代理有限公司 代理人: 杨文录<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 430000 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开的属于半导体圆片转移技术领域,具体为一种III‑V化合物半导体圆片转移工具,包括右护栏、左护栏、后护栏、连接柱、主底条板、副底条板、挡板和楔面板,所述右护栏的后侧壁一体成型连接所述后护栏,所述左护栏的前侧壁一体成型连接所述左护栏,所述后护栏的前侧壁粘接所述连接柱,所述左护栏的内腔右侧壁粘接有主底条板,所述右护栏的内腔左侧壁粘接有副底条板,所述右护栏和所述左护栏的前侧壁插接所述挡板,该种III‑V化合物半导体圆片转移工具,通过配件的组合运用,使用带护栏的设计,避免了传统方式容易造成圆片滑落的风险,不使用易耗品,节约成本,使用楔形设计,能很轻松使得工具插入圆片底部,提高转移效率。
搜索关键词: 左护栏 右护栏 底条 圆片 后护栏 前侧壁 粘接 化合物半导体 挡板 一体成型 转移工具 连接柱 内腔 半导体圆片 本实用新型 传统方式 工具插入 转移效率 后侧壁 易耗品 右侧壁 左侧壁 插接 护栏 滑落 楔形 配件 节约
【主权项】:
1.一种III-V化合物半导体圆片转移工具,其特征在于:包括右护栏(100)、左护栏(120)、后护栏(130)、连接柱(200)、主底条板(300)、副底条板(330)、挡板(400)和楔面板(500),所述右护栏(100)的后侧壁一体成型连接所述后护栏(130),所述左护栏(120)的前侧壁一体成型连接所述左护栏(120),所述后护栏(130)的前侧壁粘接所述连接柱(200),所述左护栏(120)的内腔右侧壁粘接有主底条板(300),所述右护栏(100)的内腔左侧壁粘接有副底条板(330),所述右护栏(100)和所述左护栏(120)的前侧壁插接所述挡板(400),所述右护栏(100)和所述左护栏(120)的内侧插接有楔面板(500),所述右护栏(100)和所述左护栏(120)的左右侧壁开设有凹槽(110),所述连接柱(200)的顶部粘接有连接栓(210),所述连接柱(200)的圆周内壁插接有连接杆(220),所述主底条板(300)的顶部粘接有插柱(310)和顶珠(320),所述挡板(400)的右侧壁粘接有限位板(410),所述楔面板(500)底部一体成型连接有插槽(510)和顶珠槽(520),所述楔面板(500)的顶部粘接有弧板(530)。/n
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