[实用新型]一种III-V化合物半导体圆片转移工具有效
申请号: | 201920727778.0 | 申请日: | 2019-05-21 |
公开(公告)号: | CN209747487U | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 何伟炜;杨明;印文健 | 申请(专利权)人: | 众瑞速联(武汉)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 11340 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人: | 杨文录<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开的属于半导体圆片转移技术领域,具体为一种III‑V化合物半导体圆片转移工具,包括右护栏、左护栏、后护栏、连接柱、主底条板、副底条板、挡板和楔面板,所述右护栏的后侧壁一体成型连接所述后护栏,所述左护栏的前侧壁一体成型连接所述左护栏,所述后护栏的前侧壁粘接所述连接柱,所述左护栏的内腔右侧壁粘接有主底条板,所述右护栏的内腔左侧壁粘接有副底条板,所述右护栏和所述左护栏的前侧壁插接所述挡板,该种III‑V化合物半导体圆片转移工具,通过配件的组合运用,使用带护栏的设计,避免了传统方式容易造成圆片滑落的风险,不使用易耗品,节约成本,使用楔形设计,能很轻松使得工具插入圆片底部,提高转移效率。 | ||
搜索关键词: | 左护栏 右护栏 底条 圆片 后护栏 前侧壁 粘接 化合物半导体 挡板 一体成型 转移工具 连接柱 内腔 半导体圆片 本实用新型 传统方式 工具插入 转移效率 后侧壁 易耗品 右侧壁 左侧壁 插接 护栏 滑落 楔形 配件 节约 | ||
【主权项】:
1.一种III-V化合物半导体圆片转移工具,其特征在于:包括右护栏(100)、左护栏(120)、后护栏(130)、连接柱(200)、主底条板(300)、副底条板(330)、挡板(400)和楔面板(500),所述右护栏(100)的后侧壁一体成型连接所述后护栏(130),所述左护栏(120)的前侧壁一体成型连接所述左护栏(120),所述后护栏(130)的前侧壁粘接所述连接柱(200),所述左护栏(120)的内腔右侧壁粘接有主底条板(300),所述右护栏(100)的内腔左侧壁粘接有副底条板(330),所述右护栏(100)和所述左护栏(120)的前侧壁插接所述挡板(400),所述右护栏(100)和所述左护栏(120)的内侧插接有楔面板(500),所述右护栏(100)和所述左护栏(120)的左右侧壁开设有凹槽(110),所述连接柱(200)的顶部粘接有连接栓(210),所述连接柱(200)的圆周内壁插接有连接杆(220),所述主底条板(300)的顶部粘接有插柱(310)和顶珠(320),所述挡板(400)的右侧壁粘接有限位板(410),所述楔面板(500)底部一体成型连接有插槽(510)和顶珠槽(520),所述楔面板(500)的顶部粘接有弧板(530)。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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