[实用新型]一种扫描电镜样品台有效
| 申请号： | 201920728299.0 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN209658130U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 胡匀匀;徐冠超;丁丁;杨阳;冯志强 | 申请（专利权）人： | 天合光能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 33233 浙江永鼎律师事务所 | 代理人： | 郭小丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 213022 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面，所述承载模块与底座可拆卸连接，并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。本实用新型不需要夹具和转轴等较为复杂的部件，即可实现同时装载多个样品、同时多角度测量的目的，兼具平面和截面测试功能，能够减少放真空‑换样‑抽真空的等待时间，提高实验和生产检验中的测试效率，本实用新型设计简单，易加工，易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 承载模块 本实用新型 底座 可拆卸连接 凸台侧面 扫描电镜样品台 承载 夹具 多角度测量 测试效率 接触配合 截面测试 抽真空 易加工 凸台 转轴 匹配 装载 检验 生产 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。/n
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