[实用新型]一种LED外延片制备工艺废气回收装置有效
| 申请号： | 201920729246.0 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN210065160U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 王耀亮;王冶秋 | 申请（专利权）人： | 上海跃绅能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/56 | 分类号： | C01B3/56;C01B21/06;C01C1/12;F25J3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201114 上海市闵行区新骏环*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及废气回收技术领域，具体涉及一种LED外延片制备工艺废气回收装置。回收装置具体包括：用于将废气收集的尾气吸收罐，进行杂质过滤获得第一过滤尾气的粉尘过滤器；用于将第一过滤尾气进行反应的设备包括依次连接的压缩机、加热器、回热器和反应器，冷却器和去除MO源获得第二过滤尾气过滤器；用于将第二过滤尾气进行处理的设备包括依次连接的换热器、一级冷凝气液分离器、冰机、二级冷凝气液分离器和氨水精馏装置；用于将除氨尾气进行水喷淋的喷淋塔和氢气PSA系统。该回收装置处理过程简单，且对废气中氨气、氢气以及三甲基镓(TMGa)进行了回收利用，避免了能源的浪费，减少了废气的排放，具有良好的环保性和经济性。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 尾气 气液分离器 回收装置 依次连接 氢气 废气 氨气 氨水 废气回收装置 加热器 本实用新型 粉尘过滤器 尾气过滤器 尾气吸收罐 二级冷凝 废气回收 废气收集 回收利用 精馏装置 三甲基镓 一级冷凝 杂质过滤 制备工艺 反应器 环保性 换热器 回热器 冷却器 喷淋塔 水喷淋 压缩机 冰机 除氨 去除 排放 能源 | ||
【主权项】：
1.一种LED外延片制备工艺废气回收装置，其特征在于，具体包括：/n用于将LED外延片制备工艺废气进行尾气收集的尾气吸收罐，以及对尾气进行固体杂质过滤获得第一过滤尾气的粉尘过滤器；/n用于将所述第一过滤尾气进行增压并加热反应的设备包括依次连接的压缩机、加热器、回热器和反应器，以及用于冷却的冷却器和过滤去除尾气中MO源获得第二过滤尾气过滤器；/n用于将所述第二过滤尾气进行冷凝分离和精馏获得除氨尾气的设备包括依次连接的换热器、一级冷凝气液分离器、冰机、二级冷凝气液分离器，以及用于获得工业液氨的氨水精馏装置；以及/n用于将所述除氨尾气进行水喷淋的喷淋塔和获得高纯氢气的氢气PSA系统；/n所述各处理设备之间通过管路连接，所述粉尘过滤器通过管路与压缩机相连，过滤器通过管路与换热器相连，所述二级冷凝气液分离器通过管路与换热器相连，并与喷淋塔相连。/n
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