[实用新型]一种氦气冷却系统有效
| 申请号： | 201920729578.9 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN210042350U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 荆晓兵;何小中;李洪;马瑞利 | 申请（专利权）人： | 四川玖谊源粒子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H13/00 | 分类号： | H05H13/00 |
| 代理公司： | 51289 成都明涛智创专利代理有限公司 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种氦气冷却系统。本实用新型所采用的技术方案是：一种氦气冷却系统，包括冷却器主体；所述冷却器主体一端面的中心设置有朝内凹陷的真空窗，另一端面的中心设置有朝内凹陷的靶材密封窗，所述真空窗与靶材密封窗之间设置有贯穿冷却器主体的束流通道；所述真空窗内设置有第一密封膜，所述第一密封膜位于束流准直器与束流通道之间，所述靶材密封窗内设置有第二密封膜，所述第二密封膜位于靶材腔与束流通道之间；所述冷却器主体的两侧还设置有进气孔和出气孔。本实用新型能够在不影响束流强度的基础上，有效的对密封膜进行冷却，结构简单、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 密封膜 束流 冷却器主体 靶材 本实用新型 密封窗 真空窗 气冷却系统 中心设置 内凹陷 出气孔 进气孔 准直器 冷却 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种氦气冷却系统，包括位于束流准直器与靶材腔之间的冷却器主体(1)；/n其特征在于：所述冷却器主体(1)一端面的中心设置有朝内凹陷的真空窗(2)，另一端面的中心设置有朝内凹陷的靶材密封窗(3)，所述真空窗(2)与靶材密封窗(3)之间设置有贯穿冷却器主体(1)的束流通道(4)；所述真空窗(2)内设置有第一密封膜(5)，所述第一密封膜(5)位于束流准直器与束流通道(4)之间，所述靶材密封窗(3)内设置有第二密封膜(6)，所述第二密封膜(6)位于靶材腔与束流通道(4)之间；所述冷却器主体(1)的两侧还设置有进气孔(7)和出气孔(8)，所述进气孔(7)和出气孔(8)与束流通道(4)连通；所述冷却器主体(1)通过进气孔(7)和出气孔(8)接入氦气冷却循环回路内。/n
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