[实用新型]一种磁控溅射用的绝缘块及磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201920734946.9 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN210193987U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 齐士新 | 申请（专利权）人： | 天津南玻节能玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人： | 韩敏 |
| 地址： | 301700 天津市武清*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磁控溅射用的绝缘块及磁控溅射设备，包括同轴心设置的上垫块和下垫块，上垫块的底面和下垫块顶面分别设置同轴心的上支撑柱和下支撑柱，上支撑柱和下支撑柱可拆卸的固定在一起，在上支撑柱外侧的上垫块底面上同轴心的设置若干条上绝缘环，在下支撑柱外侧的下垫块顶面上同轴心的设置若干条下绝缘环，上垫块固定到下垫块时，上绝缘环和下绝缘环依次交替排列，上绝缘环和下绝缘环的端部交叠设置。本实用新型所述的上绝缘环和下绝缘环依次交替排布，形成了迷宫式密封结构，从而保证上垫块和下垫块的绝缘效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 绝缘 设备 | ||
【主权项】：
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