[实用新型]双背脊电容式MEMS差压传感器有效
| 申请号： | 201920737844.2 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN210071211U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 闫文明 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06;G01L9/12 |
| 代理公司： | 11327 北京鸿元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 袁文婷;王迎 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种双背脊电容式MEMS差压传感器，双背脊电容式MEMS，所述双背脊电容式MEMS包括基底、设置在所述基底上方的下背脊、敏感膜和上背脊，在所述上背脊和所述下背脊上均设置有透气孔，其中，所述敏感膜设置所述上背脊和所述下背脊之间，所述上背脊和所述下背脊用于支撑固定所述敏感膜，其中，所述上背脊、所述敏感膜和所述下背脊形成方向相反的两个敏感电容。利用本用新型，能够解决传统的电容式差压传感器的MEMS有灵敏度低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 背脊 敏感膜 电容式 基底 电容式差压传感器 本实用新型 差压传感器 方向相反 敏感电容 支撑固定 传统的 灵敏度 透气孔 | ||
【主权项】：
1.一种双背脊电容式MEMS差压传感器，其特征在于，包括双背脊电容式MEMS，所述双背脊电容式MEMS包括基底、设置在所述基底上方的下背脊、敏感膜和上背脊，在所述上背脊和所述下背脊上均设置有透气孔，其中，/n所述敏感膜设置所述上背脊和所述下背脊之间，所述上背脊和所述下背脊用于支撑固定所述敏感膜，其中，/n所述上背脊、所述敏感膜和所述下背脊形成方向相反的两个敏感电容。/n
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