[实用新型]一种半导体精密件切割装置有效

专利信息
申请号: 201920741522.5 申请日: 2019-05-22
公开(公告)号: CN210046111U 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 李秀语 申请(专利权)人: 深圳市速博精微科技有限公司
主分类号: B23H1/00 分类号: B23H1/00;B23H1/10
代理公司: 44248 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 代理人: 谢肖雄
地址: 518111 广东省深圳市龙岗区平湖*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种半导体精密件切割装置,包括电火花线切割机和过滤装置,所述电火花线切割机顶部固定有过滤装置,所述过滤装置由固定板、筛网、连接板、底座板和压紧装置构成,所述电火花线切割机顶部设有压紧装置,所述压紧装置顶部设有底座板,所述底座板与电火花线切割机通过压紧装置固定连接,所述底座板顶部固定有连接板,所述连接板顶部固定有固定板,所述固定板内部设有筛网,所述筛网内部设有多个通孔,此半导体精密件切割装置,使用过滤装置过滤电火花线切割机的冷却液内的杂质,提升冷却液清洁度,保证半导体加工质量,减小冷却液的更换成本,增大电火花线切割机中的冷却液循环泵的使用寿命。
搜索关键词: 电火花线切割机 过滤装置 压紧装置 底座板 固定板 冷却液 筛网 切割装置 精密件 连接板 半导体 冷却液循环泵 清洁度 半导体加工 本实用新型 连接板顶部 使用寿命 减小 通孔 过滤 保证
【主权项】:
1.一种半导体精密件切割装置,包括电火花线切割机(1)和过滤装置(2),其特征在于:所述电火花线切割机(1)顶部固定有过滤装置(2),所述过滤装置(2)由固定板(3)、筛网(4)、连接板(5)、底座板(6)和压紧装置(10)构成,所述电火花线切割机(1)顶部设有压紧装置(10),所述压紧装置(10)顶部设有底座板(6),所述底座板(6)与电火花线切割机(1)通过压紧装置(10)固定连接,所述底座板(6)顶部固定有连接板(5),所述连接板(5)顶部固定有固定板(3),所述固定板(3)内部设有筛网(4),所述筛网(4)内部设有多个通孔(9)。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市速博精微科技有限公司,未经深圳市速博精微科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920741522.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top