[实用新型]一种半导体精密件切割装置有效
申请号: | 201920741522.5 | 申请日: | 2019-05-22 |
公开(公告)号: | CN210046111U | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 李秀语 | 申请(专利权)人: | 深圳市速博精微科技有限公司 |
主分类号: | B23H1/00 | 分类号: | B23H1/00;B23H1/10 |
代理公司: | 44248 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) | 代理人: | 谢肖雄 |
地址: | 518111 广东省深圳市龙岗区平湖*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体精密件切割装置,包括电火花线切割机和过滤装置,所述电火花线切割机顶部固定有过滤装置,所述过滤装置由固定板、筛网、连接板、底座板和压紧装置构成,所述电火花线切割机顶部设有压紧装置,所述压紧装置顶部设有底座板,所述底座板与电火花线切割机通过压紧装置固定连接,所述底座板顶部固定有连接板,所述连接板顶部固定有固定板,所述固定板内部设有筛网,所述筛网内部设有多个通孔,此半导体精密件切割装置,使用过滤装置过滤电火花线切割机的冷却液内的杂质,提升冷却液清洁度,保证半导体加工质量,减小冷却液的更换成本,增大电火花线切割机中的冷却液循环泵的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 电火花线切割机 过滤装置 压紧装置 底座板 固定板 冷却液 筛网 切割装置 精密件 连接板 半导体 冷却液循环泵 清洁度 半导体加工 本实用新型 连接板顶部 使用寿命 减小 通孔 过滤 保证 | ||
【主权项】:
1.一种半导体精密件切割装置,包括电火花线切割机(1)和过滤装置(2),其特征在于:所述电火花线切割机(1)顶部固定有过滤装置(2),所述过滤装置(2)由固定板(3)、筛网(4)、连接板(5)、底座板(6)和压紧装置(10)构成,所述电火花线切割机(1)顶部设有压紧装置(10),所述压紧装置(10)顶部设有底座板(6),所述底座板(6)与电火花线切割机(1)通过压紧装置(10)固定连接,所述底座板(6)顶部固定有连接板(5),所述连接板(5)顶部固定有固定板(3),所述固定板(3)内部设有筛网(4),所述筛网(4)内部设有多个通孔(9)。/n
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