[实用新型]一种固晶机摆臂有效
| 申请号： | 201920742016.8 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN209641630U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 高健;赖文秀;钟永彬;张揽宇;黎警婵;莫健华 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春水;唐京桥<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 510060广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种固晶机摆臂，包括摆臂主体、摆臂支撑板和摆臂螺栓板；摆臂主体与摆臂支撑板通过螺栓连接；摆臂螺栓板与摆臂支撑板连接；摆臂主体的正面开设有三角形的第一通槽。本申请所公开的固晶机摆臂通过用三角形的第一通槽替代传统的圆孔，在实现了减轻整体质量的前提下，还简化了加工工艺，不会影响摆臂的正常工作，解决现有的圆形摆臂减重孔会降低固晶机摆臂的稳定性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 摆臂 摆臂支撑 摆臂主体 固晶机 螺栓板 通槽 螺栓连接 板连接 传统的 减重孔 圆孔 申请 替代 | ||
【主权项】：
1.一种固晶机摆臂，其特征在于，包括摆臂主体、摆臂支撑板和摆臂螺栓板；/n所述摆臂主体与所述摆臂支撑板通过螺栓连接；/n所述摆臂螺栓板与所述摆臂支撑板连接；/n所述摆臂主体的正面开设有三角形的第一通槽。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
