[实用新型]一种应用于管式退火炉上的双真空系统有效
| 申请号： | 201920745437.6 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN209989424U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛华旗科技有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/773 | 分类号： | C21D1/773;C21D1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种应用于管式退火炉上的双真空系统，包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。本实用新型设计合理，使用左真空系统和右真空系统的组合，配合反应腔，能够非常有效的提高抽气效率，缩短整个工艺时间，大大提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空系统 反应腔 本实用新型 管式退火炉 低真空度 高真空度 压力表 测量 双真空系统 抽气效率 管路连通 生产效率 电离规 电阻规 左电阻 电离 配合 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于管式退火炉上的双真空系统，与管式退火炉相对应，管式退火炉上设置有反应腔；其特征在于：包括安装在管式退火炉上的左真空系统和右真空系统；反应腔分别通过管路连通左真空系统和右真空系统；/n反应腔与左真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的左电阻规和左电离；反应腔与右真空系统之间的管路上安装有用于测量低真空度和高真空度的右电阻规、右电离规和右压力表。/n
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