[实用新型]一种蚀刻液循环利用装置有效

专利信息
申请号: 201920751039.5 申请日: 2019-05-23
公开(公告)号: CN209974896U 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: 董旭 申请(专利权)人: 昆山智祥隆电子有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开了一种蚀刻液循环利用装置,包括回收槽、位于所述回收槽两端的处理槽以及控制台;其中:所述回收槽为两端均可开闭式结构,所述回收槽一侧通过导管与外部机构连接,另一侧设置有酸碱测试仪,所述酸碱测试仪的检测头位于所述回收槽内;所述处理槽数量为两个且分别与所述回收槽两端对应,所述处理槽一侧设置有第一高压泵,另一侧设置有第二高压泵,所述第一高压泵与外部溶液罐连接,所述第二高压泵能够将蚀刻液添加至外部机构;所述控制台与所述酸碱测试仪、第一高压泵、第二高压泵均电性连接。本实用新型能够快速对蚀刻液进行处理,实现蚀刻液的快速循环利用,提高循环效率,最终提高蚀刻液的使用效率。
搜索关键词: 高压泵 回收槽 蚀刻液 处理槽 控制台 本实用新型 酸碱测试仪 外部机构 循环利用装置 电性连接 可开闭式 快速循环 使用效率 循环效率 检测头 溶液罐 导管 酸碱 测试 外部
【主权项】:
1.一种蚀刻液循环利用装置,其特征在于,包括回收槽、位于所述回收槽两端的处理槽以及控制台;其中:/n所述回收槽为两端均可开闭式结构,所述回收槽一侧通过导管与外部机构连接,另一侧设置有酸碱测试仪,所述酸碱测试仪的检测头位于所述回收槽内;/n所述处理槽数量为两个且分别与所述回收槽两端对应,所述处理槽一侧设置有第一高压泵,另一侧设置有第二高压泵,所述第一高压泵与外部溶液罐连接,所述第二高压泵能够将蚀刻液添加至外部机构;/n所述控制台与所述酸碱测试仪、第一高压泵、第二高压泵均电性连接。/n
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