[实用新型]一种石英玻璃沉积炉用炉罩有效
申请号: | 201920754115.8 | 申请日: | 2019-05-23 |
公开(公告)号: | CN209940828U | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 鹿云龙;高运周;李建均 | 申请(专利权)人: | 四川神光石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03B19/14 |
代理公司: | 51292 成都欣圣知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王海文 |
地址: | 621700 四川省绵*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石英玻璃沉积炉用炉罩,用于对沉积炉进行隔离防护,炉罩包括上罩体,具有加料孔和操作视窗,设置在沉积炉顶部外,用于对沉积炉的燃烧器进行隔离;下罩体,具有安装孔和看火窗,设置在沉积炉侧壁外,用于对沉积炉的炉体进行隔离;以及排气机构,设置在所述上罩体和下罩体外,用于对所述上罩体和下罩体内部的尾气排放;所述上罩体位于下罩体上方,其底端与下罩体顶端连接;所述下罩体内壁与沉积炉的炉体侧壁之间存在间隙。炉罩还包括补气机构,用于对所述上罩体和下罩体内部补充气体。本实用新型提供了一种石英玻璃沉积炉用炉罩,解决了现场环境热散失和氯化氢气体扩散的问题,改善了生产环境,减少了对设备及人员的危害。 | ||
搜索关键词: | 沉积炉 上罩体 下罩体 炉罩 下罩 本实用新型 石英玻璃 体内部 隔离 氯化氢气体 补充气体 补气机构 操作视窗 顶端连接 隔离防护 炉体侧壁 排气机构 生产环境 尾气排放 现场环境 安装孔 对设备 加料孔 燃烧器 热散失 侧壁 底端 火窗 炉体 体内 扩散 | ||
【主权项】:
1.一种石英玻璃沉积炉用炉罩,用于对沉积炉进行隔离防护,其特征在于:炉罩包括/n上罩体,具有加料孔和操作视窗,设置在沉积炉顶部外,用于对沉积炉的燃烧器进行隔离;/n下罩体,具有安装孔和看火窗,设置在沉积炉侧壁外,用于对沉积炉的炉体进行隔离;以及/n排气机构,设置在所述上罩体和下罩体外,用于对所述上罩体和下罩体内部的尾气排放;/n其中,所述下罩体位于上罩体下方,其顶端与上罩体底端连接;所述下罩体内壁与沉积炉的炉体侧壁之间存在间隙。/n
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