[实用新型]一种基板清洗头及基板清洗装置有效
| 申请号： | 201920764826.3 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN210788334U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 蒋阳波;赵德文;李长坤;刘远航;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B5/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板清洗头及基板清洗装置，基板清洗头包括具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的通道，不同的流体管延伸通过所述通道至所述清洁垫的通孔，使得清洗液可经由所述流体管及通孔喷射至基板表面并在与污染物结合后经由其他通孔吸走。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板清 洗头 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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