[实用新型]一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统有效

专利信息
申请号: 201920772482.0 申请日: 2019-05-27
公开(公告)号: CN209747477U 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 朱春阳;刘松源;黄伟;李昌文;徐治;陈迅;马伟凯;刘琪 申请(专利权)人: 山东新恒汇电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/48;H01L23/495
代理公司: 37223 淄博佳和专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 孙爱华<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 255088 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统,属于半导体生产技术领域。铜带(2)自铜带放料轮(3)脱离后与同时自感光膜放料轮(6)上脱离的感光膜(7)上下贴合后经热压轮单元热压,热压之后缠绕在收料轮(14)表面收集,其特征在于:所述的热压轮单元包括并排设置的两组上压轮机构(9),上压轮机构(9)位于铜带(2)的上方,还设置有与上压轮机构(9)分别对应的下压轮机构(10),上压轮机构(9)和相对应的下压轮机构(10)之间间隔设置,铜带(2)以及附着在其上下表面的感光膜(7)从上压轮机构(9)和下压轮机构(10)的间隙中穿过。在本引线框架的铜带的双压轮压膜系统中,实现了双压轮热压,提高了热压效率。
搜索关键词: 铜带 上压轮 热压 双压轮 下压轮 压膜系统 引线框架 放料轮 感光膜 热压轮 半导体生产技术 表面收集 并排设置 间隔设置 上下表面 上下贴合 收料轮 自感光 脱离 两组 附着 缠绕 穿过
【主权项】:
1.一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统,包括缠绕有铜带(2)的铜带放料轮(3)以及缠绕有感光膜(7)的感光膜放料轮(6),铜带(2)自铜带放料轮(3)脱离后与同时自感光膜放料轮(6)上脱离的感光膜(7)上下贴合后经热压轮单元热压,其特征在于:所述的热压轮单元包括并排设置的两组上压轮机构(9),上压轮机构(9)位于铜带(2)的上方,还设置有与两组上压轮机构(9)分别对应的下压轮机构(10),上压轮机构(9)和相对应的下压轮机构(10)之间间隔设置,铜带(2)以及附着在其上下表面的感光膜(7)从上压轮机构(9)和下压轮机构(10)的间隙中穿过。/n
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