[实用新型]一种便于安装固定的磁约束多弧阴极靶材有效
申请号: | 201920781198.X | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN210718840U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 黄星;郭江涛;吴瑞红;文继志 | 申请(专利权)人: | 南京托尔真空科技有限公司 |
主分类号: | F41J1/10 | 分类号: | F41J1/10 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 刘刚 |
地址: | 210000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种便于安装固定的磁约束多弧阴极靶材,包括底座,底座四角均插设有定位螺栓,底座位于四角的定位螺栓之间开凿有若干滑槽,每个滑槽内部均插设有滑块,每个滑块远离底座的一端分别与一号半弧形限位块的底部固定,一号半弧形限位块顶部两侧均固定有铰链,两个铰链远离一号半弧形限位块的一端分别与挂环底部两端固定,本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型通过设有的连接槽、限位座、弹簧、一号半弧形限位块以及二号半弧形限位块的搭配使用,使靶材固定较为方便,通过设有的滑槽、滑块、铰链、挂环以及挂钩的搭配使用,使本实用新型在更换靶材使,操作简单,造价低,具有很好的实用性以及推广性。 | ||
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【主权项】:
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