[实用新型]一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器

摘要

本实用新型公开了一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器，包括进料管、进料通管、保护管缓冲腔、一层氧气缓冲腔、二层氧气缓冲腔、氢气缓冲腔、外环管缓冲腔、料保护通管、一层氧气室、二层氧气室、氢气室、外环室、一层氧气通管、二层氧气通管、料保护管、一层氧气管和二层氧气管、氢气管和外环管，在外环管缓冲腔下方设置惰性气体缓冲腔，与惰性气体缓冲腔导通的惰性气体室以及惰性气体管，所述惰性气体室与外环室呈同心圆结构形式布置并位于外环室外侧。本实用新型提供了一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器，解决原有氢氧火焰燃烧器在立式CVD工艺中，容易在燃烧器端口的外沿积料掉玻璃态瘤子，严重降低石英玻璃坨质量的问题。

主权项

1.一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器，包括进料管、进料通管、保护管缓冲腔、一层氧气缓冲腔、二层氧气缓冲腔、氢气缓冲腔、外环管缓冲腔、料保护通管、一层氧气室、二层氧气室、氢气室、外环室、一层氧气通管、二层氧气通管、料保护管、一层氧气管和二层氧气管、氢气管和外环管；/n所述保护管缓冲腔、一层氧气缓冲腔、二层氧气缓冲腔、氢气缓冲腔和外环管缓冲腔依次连接形成一个整体且进料通管穿过该整体；/n从里到外，所述料保护通管、一层氧气室和二层氧气室与进料通管成同心圆结构形式设置，并分别与保护管缓冲腔、一层氧气缓冲腔、二层氧气缓冲腔连通，所述料保护通管下端与进料通管下端齐平；/n从里到外，所述氢气室和外环室与料保护通管成同心圆结构形式设置，并分别与氢气缓冲腔和外环管缓冲腔连通；/n所述一层氧气通管和二层氧气通管分别与一层氧气室和二层氧气室连通，其下端与进料通管下端齐平，其特征在于：在所述外环管缓冲腔下方设置惰性气体缓冲腔，与惰性气体缓冲腔导通的惰性气体室以及用于通入惰性气体的惰性气体管，所述惰性气体室与外环室呈同心圆结构形式布置并位于外环室外侧。/n