[实用新型]一种25G抗反射分布反馈式激光器有效
| 申请号： | 201920788357.9 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN209993868U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 董延;李马惠;潘彦廷 | 申请（专利权）人： | 陕西源杰半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/323 | 分类号： | H01S5/323;H01S5/22;H01S5/187 |
| 代理公司： | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 712000 陕西省咸阳市西咸新区沣西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种25G抗反射分布反馈式激光器，包括基板和和依次设置在基板上的有源区、第一包层和衍射光栅层，第一包层和衍射光栅层一端设置有端面刻蚀区，端面刻蚀区底部位于基板内，且端面刻蚀区内生长有抗反射层；衍射光栅层和抗反射层上依次覆盖有第二包层、接触层和p‑金属电极层，基板下表面镀有n‑金属电极层，抗反射层的一端镀上抗反射镀膜层，另一端镀上高反射镀膜层。本实用新型的结构设计其制备方法成熟，工艺实现简单且不改变激光器本身原有的特性，通过使端面的光波导层与有源区层形成上下错位，使得光在沿原路返回时不会进入有源区，解决了输出端光反射对有源区造成的扰动问题，且在封装过程中不用再使用价格昂贵的光隔离器件，降低了封装的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射光栅层 抗反射层 包层 基板 刻蚀 源区 本实用新型 金属电极层 分布反馈式激光器 抗反射镀膜层 光隔离器件 基板下表面 封装过程 工艺实现 光波导层 上下错位 一端设置 依次设置 原路返回 激光器 扰动 镀膜层 高反射 光反射 接触层 抗反射 输出端 原有的 源区层 再使用 制备 封装 生长 覆盖 成熟 | ||
【主权项】：
1.一种25G抗反射分布反馈式激光器，其特征在于，包括基板(10)，所述基板(10)上设置有有源区(11)和抗反射层，所述有源区(11)上自下至上依次设置有第一包层(12)和衍射光栅层(13)，所述抗反射层包括光波导层(20)和设置在光波导层(20)上的InP层(21)，光波导层(20)的上端面低于有源区(11)的下端面，抗反射层的上端面与衍射光栅层(13)的上端面在同一水平面上。/n
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