[实用新型]一种多悬臂热双金属驱动器有效
申请号: | 201920792424.4 | 申请日: | 2019-05-29 |
公开(公告)号: | CN210110702U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 韩晓东;李志鹏;毛圣成;张剑飞;马东锋;翟亚迪;李雪峤;张晴;栗晓辰;马腾云;张泽 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/02;G01N23/20025;G01N23/2005 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 苗青盛;周琦 |
地址: | 100022 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域,提供了一种多悬臂热双金属驱动器,包括本体和第一开口、第二开口;本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区;主动区开设所述第一开口,被动区开设第二开口,第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁,第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁;第一开口与第二开口通过连接通道相连通;每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置;本实用新型结构简单、制备方便,便于批量化生产,实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验,还可根据需要灵活设计驱动器结构,满足不同的驱动需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 悬臂 双金属 驱动器 | ||
【主权项】:
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