[实用新型]一种双气源晶体生长炉自动化充气系统有效
| 申请号： | 201920803682.8 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210420252U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 刘刚 | 申请（专利权）人： | 成都晶九科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都厚为专利代理事务所(普通合伙) 51255 | 代理人： | 夏柯双 |
| 地址： | 611731 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种双气源晶体生长炉自动化充气系统，包括晶体生长炉（1），它还包括第一气源支路（2）、第二气源支路（3）、电磁换向阀（4）、换气支路（5）以及处理器（9），电磁换向阀（4）和电动截止阀（10）同时动作实现第一气源支路（2）与第一单向气路的通断以及第二气源支路（3）与第二单向气路的通断，电动截止阀（10）为常闭阀。本实用新型根据晶体生长炉内的气体压力，通过电磁换向阀和电动截止阀同时动作实现第一气源支路与第一单向气路的通断以及第二气源支路与第二单向气路的通断，提高了晶体生长炉充气的自动化程度，实现不同气源之间的自动切换，降低了对不同晶体生长的影响，提高了晶体生长的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双气源 晶体生长 自动化 充气 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都晶九科技有限公司，未经成都晶九科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920803682.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种运行稳定且密封性能良好的晶体生长炉提拉头
- 下一篇：钢筋加工车间
