[实用新型]一种浮结型肖特基二极管有效
申请号: | 201920806493.6 | 申请日: | 2019-05-29 |
公开(公告)号: | CN210224043U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 宋庆文;张玉明;汤晓燕;袁昊;吴勇;何艳静;韩超;刘钰康 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学芜湖研究院 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L29/06;H01L21/329 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市弋江区高*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种浮结型肖特基二极管,包括:衬底层1;外延层2,位于所述衬底层1上层;浮结区3,位于所述外延层2中间的矩形槽内;绝缘型多晶硅层4,位于所述浮结区3上层;沟槽5,位于所述绝缘型多晶硅层4上层;肖特基接触的阴极6,位于所述衬底层1下层;肖特基接触的阳极7,覆盖所述外延层2、所述绝缘型多晶硅层4和所述沟槽5。本实用新型提出的二极管,通过改善了浮结型肖特基二极管的工艺步骤,不需要二次生长外延层,同时,增大了器件击穿电压,减小了导通电阻,提升了功率优值,降低了工艺难度和成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 浮结型肖特基 二极管 | ||
【主权项】:
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