[实用新型]初始转角误差可调节的微纳平台

摘要

本实用新型公开了初始转角误差可调节的微纳平台，所述微纳平台包括：平台(1)、压电陶瓷驱动器(2)、连接块(3)、第一固定端(5)、第二固定端(6)、第一放大杠杆(7)、第二放大杠杆(8)、第一连接板簧(9)、第二连接板簧(10)、导向板簧(11)、中心平台(12)、光栅读数头(13)、光栅玻璃尺(14)、第一压块(15)、第二压块(16)、支架(17)、预紧弹簧(18)、预紧螺钉(19)；通过本微纳平台的可调节方式能够对存在的缺陷进行补偿。

主权项

1.初始转角误差可调节的微纳平台，其特征在于，所述微纳平台包括：/n平台（1）、压电陶瓷驱动器（2）、连接块（3）、第一固定端（5）、第二固定端（6）、第一放大杠杆（7）、第二放大杠杆（8）、第一连接板簧（9）、第二连接板簧（10）、导向板簧（11）、中心平台（12）、光栅读数头（13）、光栅玻璃尺（14）、第一压块（15）、第二压块（16）、支架（17）、预紧弹簧（18）、预紧螺钉（19）；平台（1）相邻两个侧边设有两个箱体的第一结构，其中一个第一结构为：平台（1）侧边设有容纳压电陶瓷驱动器（2）的空心腔，压电陶瓷驱动器（2）两端分别与2个连接块（3）各自的一端接触，2个连接块（3）各自的另一端分别与第一固定端（5）和第二固定端（6）配合，第一固定端（5）和第二固定端（6）的外侧分别通过铰链与第一放大杠杆（7）的一端和第二放大杠杆（8）杆的一端连接，第一放大杠杆（7）和第二放大杠杆（8）的外侧端面均通过铰链与平台（1）基体连接，第一放大杠杆（7）的另一端和第二放大杠杆（8）另一端面分别与第一连接板簧（9）的一端和第二连接板簧（10）的一端连接，第一连接板簧（9）的另一端和第二连接板簧（10）另一端均与中心平台（12）的中心位置连接，中心平台（12）的每个端角分别通过导向板簧（11）与平台（1）的基体连接；平台（1）远离容纳压电陶瓷驱动器（2）空心腔的相邻两边分别设置有第二结构，其中一个第二结构为：平台（1）远离容纳压电陶瓷驱动器（2）空心腔的侧边设置有一个光栅读数头（13），与第一放大杠杆（7）和第二放大杠杆（8）外侧相对的平台（1）基体内部分别设有容纳预紧弹簧（18）和预紧螺钉（19）的螺纹孔，所述预紧弹簧（18）一端与第一放大杠杆（7）或第二放大杠杆（8）外端面接触，所述预紧弹簧（18）的另一端与预紧螺钉（19）里端接触。/n