[实用新型]管路结构有效
| 申请号： | 201920813426.7 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN209626190U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 周至军;高英哲;张文福;李丹 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种管路结构，包括：输入单元，包括第一输入单元和第二输入单元；储存单元，与所述输入单元连接；第一通路，连接所述第一输入单元与所述储存单元；过滤单元，位于所述第一通路；第二通路，连接所述第二输入单元与所述储存单元；调节单元，连接所述第一通路和所述第二通路，位于所述输入单元与所述过滤单元之间；本实用新型提供的管路结构保证在更换过滤单元时，不会有化学药液对工作人员造成伤害，提高管路结构的安全使用系数。 | ||
| 搜索关键词： | 输入单元 管路结构 储存单元 过滤单元 本实用新型 安全使用 化学药液 伤害 保证 | ||
【主权项】：
1.一种管路结构，其特征在于，包括：输入单元，包括第一输入单元和第二输入单元；储存单元，与所述输入单元连接；第一通路，连接所述第一输入单元与所述储存单元；过滤单元，位于所述第一通路；第二通路，连接所述第二输入单元与所述储存单元；调节单元，连接所述第一通路和所述第二通路，位于所述输入单元与所述过滤单元之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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