[实用新型]一种实时间接测量溅射靶材温度装置有效
| 申请号： | 201920814930.9 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN210001924U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 马毅;黄先伟;宋宇轩;俞越翎;张泰华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 33213 杭州浙科专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种实时间接测量溅射靶材温度装置，包括贴合设置在靶材铜底座上的导热固定装置及设置在导热固定装置上的温度传感器装置，所述导热固定装置包括上导热固定铜块及下导热固定铜块，所述上导热固定铜块及下导热固定铜块通过固定螺丝设置在靶材铜底座内侧位置；所述温度传感器装置包括温度传感器探头、与温度传感器探头相连的防水耐高温线缆及与防水耐高温线缆相连的显示器。本实用新型的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，应用本装置为样品进行磁控溅射镀膜，使镀膜过程更加安全，保障了实验人员的人身安全，保证了测量的薄膜与基体的结合力的稳定性与精确性，对薄膜的研究领域具有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 导热 固定铜块 导热固定装置 温度传感器探头 温度传感器装置 本实用新型 耐高温线缆 铜底座 靶材 薄膜 防水 磁控溅射镀膜 镀膜过程 固定螺丝 间接测量 溅射靶材 内侧位置 人身安全 贴合设置 温度装置 装置设计 结合力 显示器 测量 应用 安全 保证 研究 | ||
【主权项】：
1.一种实时间接测量溅射靶材温度装置，其特征在于，包括贴合设置在靶材铜底座（14）上的导热固定装置及设置在导热固定装置上的温度传感器装置，所述导热固定装置包括上导热固定铜块（1）及下导热固定铜块（2），所述上导热固定铜块（1）及下导热固定铜块（2）通过固定螺丝（5）设置在靶材铜底座（14）内侧位置；所述温度传感器装置包括温度传感器探头（4）、与温度传感器探头（4）相连的防水耐高温线缆（3）及与防水耐高温线缆（3）相连的显示器（13）。/n
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