[实用新型]一种基于半导体基片加工的反应腔内托盘

摘要

本实用新型提供一种基于半导体基片加工的反应腔内托盘，包括防滑块，固定件，固定槽，缓冲块，限位板，受力块，压块，拉板，移动块，卡块和控制板；所述主体为矩形板状结构，该主体的两侧底部设有凸块，再者，凸块的底部内部通过连接轴安装有移动轮，并且，拉槽的内部底端为弧形结构；所述限位孔通过均匀排列的方式设在安装槽的两侧，此处的内块是用来安装在安装仓的内部的，使得弹簧可以通过内块将顶块向上顶动，使得基片在插入到安装槽内部的时候，顶块可以向上顶起，从而将基片进行辅助固定，而顶块的侧边为倾斜状结构，是为了使得基片在初步插入的时候进行导向的，使得内块以及顶块可以受力内缩。

主权项

1.一种基于半导体基片加工的反应腔内托盘，其特征在于：该基于半导体基片加工的反应腔内托盘包括：/n主体(1)，拉槽(101)，安装槽(102)，限位孔(103)，安装仓(104)，内块(105)，顶块(106)，防滑块(107)，固定件(2)，固定槽(201)，缓冲块(202)，限位板(203)，受力块(204)，压块(205)，拉板(3)，移动块(301)，卡块(302)和控制板(303)；/n所述主体(1)为矩形板状结构，该主体(1)的两侧底部设有凸块，再者，凸块的底部内部通过连接轴安装有移动轮，并且，拉槽(101)的内部底端为弧形结构；所述限位孔(103)通过均匀排列的方式设在安装槽(102)的两侧，还有的是，安装仓(104)通过均匀排列的方式设在安装槽(102)的两侧底端内部；所述内块(105)嵌入安装在安装仓(104)的内部，且内块(105)的底部通过弹簧与安装仓(104)内部底端相连接，并且防滑块(107)为橡胶材质；所述固定件(2)安装在安装槽(102)的内部，且固定槽(201)的内部插入安装有半导体基片；所述限位板(203)安装在固定件(2)的顶端内部中间位置，且限位板(203)的两侧通过弹簧与固定件(2)的内部相连接，并且压块(205)的顶端设有拉块；所述拉板(3)的底部通过固定连接的方式与固定件(2)的顶端侧边相连接，且移动块(301)的上方设有矩形结构的控制板(303)，并且控制板(303)处于拉板(3)的顶端。/n