[实用新型]一种基于荧光法的热传导真空计有效
申请号: | 201920835130.5 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN210128790U | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 夏子奂;王秋瑾 | 申请(专利权)人: | 上海集迦电子科技有限公司 |
主分类号: | G01L21/00 | 分类号: | G01L21/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201206 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种基于荧光法的热传导真空计,其用于测量真空腔室内的气压以及真空度,包括真空计外壳(1)、在真空计外壳内设置的荧光材料(2)、光学探头(3),所述光学探头(3)间隔所述荧光材料(2)设置,其中,在工作状态下,所述荧光材料(2)被激发发出荧光,所述光学探头(3)接收所述荧光并通过光纤(4)传递至变送器(5),所述变送器(5)计算出真空度。本实用新型所采用的光学探头和荧光材料的几何尺寸可以非常小,对应的热容也很小,测量响应度高,利于小型化和集成化。本实用新型结构简单、使用方便、测量准确,具有极高的商业价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 荧光 热传导 真空计 | ||
【主权项】:
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