[实用新型]一种机床五自由度几何运动误差测量系统有效
申请号: | 201920851429.X | 申请日: | 2019-06-06 |
公开(公告)号: | CN209706746U | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 李瑞君;许鹏;赵文凯;常振鑫;范光照 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 34101 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人: | 何梅生<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 230009 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种机床五自由度几何运动误差测量系统,包括激光发射单元、四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元;激光发射单元和滚转误差测量端相对基座位置固定,四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元中矩形反射镜随载物台移动;四自由度误差测量单元由两个内置二维位移光电传感器感测激光发射单元发出的激光信号,通过两个传感器的输出获得沿机床载物台移动方向上的直线度误差和角度误差;滚转误差测量单元基于激光自准直原理,通过内置的二维位移光电传感器测得沿载物台移动方向上的滚转角误差。本实用新型通过测量能够获得机床五个自由度的几何运动误差,辅助机床安装、调校时的快速测量。 | ||
搜索关键词: | 误差测量单元 滚转 激光发射单元 载物台移动 四自由度 机床 几何运动误差 本实用新型 光电传感器 二维位移 内置 矩形反射镜 直线度误差 测量系统 辅助机床 基座位置 激光信号 角度误差 快速测量 五自由度 误差测量 滚转角 自准直 传感器 调校 感测 激光 测量 输出 | ||
【主权项】:
1.一种机床五自由度几何运动误差测量系统,所述机床包括基座(1)和载物台(2),所述基座(1)为固定设置,所述载物台(2)配合设置在所述基座(1)上,并能够沿设置在基座(1)上的线性导轨移动;其特征是:所述测量系统包括激光发射单元(3)、四自由度误差测量单元(10)和滚转误差测量单元,所述滚转误差测量单元由滚转误差测量端(16)和矩形反射镜(17)构成;所述激光发射单元(3)位于基座(1)的一端头,所述滚转误差测量单元中的滚转误差测量端(16)位于基座(1)的一侧部;所述激光发射单元(3)和滚转误差测量端(16)相对于基座(1)位置固定;所述四自由度误差测量单元(10)固定在载物台(2)上,随载物台(2)移动;四自由度误差测量单元(10)是由两个内置的二维位移光电传感器感测激光发射单元(3)发出的激光信号,根据两个二维位移光电传感器的输出信号获得沿载物台移动方向上的直线度误差和角度误差;所述滚转误差测量单元基于激光自准直原理,通过内置的二维位移光电传感器获得垂直于载物台移动方向上的俯仰角误差。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥工业大学,未经合肥工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920851429.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。