[实用新型]单晶生长设备有效
| 申请号： | 201920852497.8 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN210420254U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 廖凤英 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种单晶生长设备，包括反应腔室(106)、上盖(110)、上开盖组件(111)、下盖(113)和下开盖组件(114)，上盖(110)和下盖(113)分别可开闭地设于反应腔室(106)的顶部和底部，分别用于密封反应腔室(106)的顶部开口和底部开口，上开盖组件(111)与上盖(110)连接，用于开闭上盖(110)，下开盖组件(114)与下盖(113)连接，用于开闭下盖(113)。本实用新型能够解决单晶生长炉单一开盖方式装卸料带来的操作空间要求大、晶体品质下降、污染环境等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 设备 | ||
【主权项】：
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