[实用新型]一种超导磁体和磁控直拉单晶设备有效

专利信息
申请号: 201920863470.9 申请日: 2019-06-10
公开(公告)号: CN209859725U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 汤洪明;傅林坚;刘黎明;门玉娟 申请(专利权)人: 杭州慧翔电液技术开发有限公司
主分类号: H01F6/06 分类号: H01F6/06;H01F6/04;C30B15/00;C30B33/04;C30B29/06
代理公司: 11332 北京品源专利代理有限公司 代理人: 孟金喆
地址: 311100 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型实施例提供了一种超导磁体和一种磁控直拉单晶设备。该超导磁体,包括超导开关、超导线圈、线圈骨架和低温恒温器,所述超导线圈固定于所述线圈骨架上,多个所述超导线圈相互串联。所述超导开关与所述超导线圈并联,并固定于所述线圈骨架上。所述线圈骨架置于所述低温恒温器中,所述低温恒温器带有制冷机。通过设置所述超导开关断开和闭合,实现了各超导线圈和超导开关之间电流的闭合导通,以便撤走励磁电源。本实用新型解决了现有磁控直拉单晶设备中超导磁体消耗电力成本和使用成本过大、生产单晶硅品质不佳、操作安全性低的问题。
搜索关键词: 超导线圈 超导开关 线圈骨架 低温恒温器 超导磁体 本实用新型 直拉单晶 磁控 单晶硅 操作安全性 闭合 闭合导通 励磁电源 消耗电力 制冷机 并联 断开 串联 生产
【主权项】:
1.一种超导磁体,用于磁控直拉单晶制备过程,其特征在于,所述超导磁体包括:超导开关、超导线圈、线圈骨架和低温恒温器;其中:/n所述超导线圈的数量为一组或多组,固定于所述线圈骨架上,多个所述超导线圈相互串联;/n所述超导开关的数量为至少一个,与所述超导线圈并联,用于在所述超导线圈经过励磁电源励磁到设定磁场时闭合,以连通各所述超导线圈形成闭合回路;/n所述超导开关固定于所述线圈骨架的设定低磁场区域;/n所述线圈骨架放置于所述低温恒温器中,所述低温恒温器带有制冷机,用于制造满足设定低温条件的环境,以令所述超导线圈和所述超导开关处于超导状态。/n
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