[实用新型]拉斜式柱状三维探测器

摘要

本实用新型公开了拉斜式柱状三维探测器，该探测器的探测单元呈斜四棱柱状，上下面为矩形，四个侧面中两对面形状相同，为两个矩形和两个平行四边形，探测单元包括探测器基体、氧化层a、倾斜的壳型电极、与壳型电极倾斜方向相同的中央收集电极、壳型电极和中央收集电极间填充的灵敏区、以及附着在灵敏区顶部的氧化层b，中央收集电极和壳型电极顶部的金属层，将制备的探测单元排列形成拉斜式柱状三维探测器；本实用新型制备的探测器中没有死区、电荷收集效率高、耗尽宽度小、耗尽电压低、位置分辨率高，对设备和技术的要求降低，读出电子学信号不会相互干扰，能量分辨率高。

主权项

1.拉斜式柱状三维探测器，其特征在于，由探测单元排列组成，所述探测单元呈斜四棱柱状，上下底面为矩形，四个侧面中两对面为矩形，两对面为平行四边形，探测单元底面为探测器基体(6)，在探测器基体(6)上附有氧化层a(5)，沿氧化层a(5)的四条边倾斜设置有壳型电极(3)，壳型电极(3)就是探测单元的四个侧面，氧化层a(5)的中间倾斜设置有中央收集电极(2)，中央收集电极(2)的倾斜方向、厚度与壳型电极(3)的倾斜方向、厚度相同，壳型电极(3)和中央收集电极(2)间填充有灵敏区(1)，灵敏区(1)上面附有氧化层b(7)，壳型电极(3)和中央收集电极(2)上面附有金属层(4)。/n