[实用新型]一种具有晶圆防撞功能的中测台

摘要

本实用新型公开了一种具有晶圆防撞功能的中测台，属于晶圆检测的技术领域，旨在提供一种避免晶圆破片的中测台，包括探针台、待测晶圆箱、设置在待测晶圆箱内用于装晶圆的晶圆匣，所述待测晶圆箱内设有用于放置晶圆匣的升降台，所述升降台上设有用于对晶圆匣定位的夹紧机构，所述待测晶圆箱的顶部开口处设有防撞报警装置，所述防撞报警装置包括设置在待测晶圆箱顶部开口处的光电传感器、蜂鸣报警器，所述光电传感器与蜂鸣报警器电性连接。通过防撞报警装置的设置，能够起到当晶圆偏出晶圆匣时，及时发出报警，通知工作人员纠偏，避免晶圆破片的效果。