[实用新型]用于化学气相沉积装置中生长碳纳米管阵列的石英舟结构

摘要

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积装置中生长碳纳米管阵列的石英舟结构。所述的石英舟结构包括石英舟主体和在石英舟主体表面的多个卡槽，卡槽中用来放置生长碳纳米管阵列的基底；卡槽为布置于石英舟主体上表面的截面为U形的条形槽，条形槽的两端非封闭，多个卡槽相平行间隔布置且位于石英舟主体上表面的中部。本实用新型解决了在化学气相沉积装置用、双面生长碳纳米管阵列时，基底两面生长的碳纳米管阵列形貌不一致的问题。